tisħin mocvd reattur bl-induzzjoni
It-tisħin bl-induzzjoni tar-reatturi tad-Deposizzjoni tal-Fwar Kimiku Metalorganiku (MOCVD) hija teknoloġija mmirata biex ittejjeb l-effiċjenza tat-tisħin u tnaqqas l-akkoppjar manjetiku ta 'ħsara mad-daħla tal-gass. Ir-reatturi MOCVD konvenzjonali li jsaħħnu bl-induzzjoni ħafna drabi jkollhom il-coil ta 'induzzjoni li jinsab barra l-kamra, li jista' jirriżulta f'tisħin inqas effiċjenti u interferenza manjetika potenzjali mas-sistema tal-kunsinna tal-gass. Riċenti… Aqra iktar